1. 设坛：首先，道士会设立一个法坛，这是进行超度仪式的主要场所。法坛上会摆放各种供品和法器，如香、烛、鲜花、水果等。
2. 净坛：在仪式开始前，道士会先进行净坛，即清洁法坛，以确保仪式的纯洁性。这一步骤通常包括洒净、焚香、念咒等环节。
3. 请神：道士会通过念诵经文或咒语，恭请神灵降临法坛，为亡魂加持。
4. 超度：道士会进行一系列的法事活动，如念诵《太上洞玄灵宝救苦拔罪妙经》、进行施食等，以帮助亡魂脱离地狱之苦。
5. 送亡魂：最后，道士会指引亡魂前往地府或轮回转世。这一步骤通常包括焚化纸钱、疏文等物品，象征着将亡魂送往另一个世界。
在整个过程中，道士需要保持专注和虔诚的态度，以确保仪式的成功。同时，他们也会根据实际情况灵活调整仪式内容，以满足不同亡魂的需求。